MGA-8000多組分痕量氣體分析儀，是基于離軸積分腔輸出光譜技術(shù)（OA-ICOS）開發(fā)的一款高精度、高靈敏度的痕量氣體分析儀。?

?設(shè)備采用紅外激光離軸入射至高精度腔室，有效光程高達(dá)幾千米，極大地提高了探測極限，結(jié)合獨特的內(nèi)部溫度和 壓力控制技術(shù)，為客戶提供超穩(wěn)定的測量，適用于電子氣體生產(chǎn)應(yīng)用領(lǐng)域的分析檢測，檢測方法及技術(shù)與國際接軌。

檢測組分：

• ?分析儀可對大部分電子氣及其雜質(zhì)組分進(jìn)行檢測。

性能特點：

儀器特點：

• ppb級別的靈敏度、精度和準(zhǔn)確度?
• 可同時檢測多種氣體，集中控制，智能化管理?
• 單線光譜技術(shù)，不受背景氣體交叉干擾影響?
• 動態(tài)量程測量范圍，可兼顧大、小量程?
• 檢測限低、靈敏度高、漂移小